Jedan od naših kupaca poluvodiča-EU-OEM specijaliziran za EUV litografiju-pristupio nam je s izazovom: proizvesti visoko-gustoćumikrokanalna ploča za hlađenjeizrađen od 6061-T6 aluminija. Potrebna komponenta preko1200 mikro-rupa, svakiØ 0,18 mm, s aomjer dubine-i-promjera 10:1, ipoložajna točnost ispod ±5 μmpo cijeloj površini dijela.
Ključni izazovi su uključivali:
Lom alatazbog ekstremnih omjera stranica
Održavanjeravnost rupepreko velikih dubina bušenja
Osiguravanjeevakuacija čipabez deformiranja mikro-rupa
Sprječavanjetoplinska distorzijatijekom kontinuiranog bušenja
Da bismo ih riješili, zaposlili smo:
Specijalizirani alati za mikro{0}}bušilices unutarnjim kanalima rashladnog sredstva
Više-korakstrategije peck drillingas kontrolom zadržavanja i uvlačenja
Ispiranje-potpomognuto ultrazvukomkako bi se osigurao razmak od strugotine
U-procesutoplinska stabilizacijaizmeđu prolaza za kontrolu ekspanzije
Nakon višestrukih ponavljanja i simulacija, implementirali smo a2-prolazni postupak bušenja i razvrtanjačime je postignuta dosljedna geometrija otvora i unutarnje površine-bez neravnina. Nakon-strojne inspekcije pomoću a500× digitalni mikroskopiCMM sa skeniranjem sondepotvrđeno:
Sve rupe unutra±3 μmopseg tolerancije
Hrapavost površine ispodRa 0,2 μm
Unutar-odstupanje razmaka-od rupe±4 μmpreko matrice 150 mm × 150 mm
Komponenta je prošla testove curenja helija, testiranje učinkovitosti toplinskog prijenosa i primljena je u kupčevu pilot izgradnju bez prerade.
