Analiza predmeta obrade
Materijal: kvarcno staklo optičke kvalitete
Značajke obrade: konturno brušenje s više- površina (uključujući 3 asimetrične strane)
Ključne dimenzije: 16×16×10 mm (greška ±0,002 mm)
Ova kvarcna prizma, veličine samo nokta, glavni je svjetlo-element za vođenje optičkog sustava domaćeg vrhunskog-stroja za litografiju. Njegovih 8 složenih zakrivljenih površina treba postići propusnost od 99,6% i nanometarsku-točnost loma, a hrapavost površine izravno utječe na rezoluciju ekspozicije litografskog stroja.
Bolne točke u industriji i tehničke poteškoće
Tvrtka za optičku tehnologiju naišla je na usko grlo u obradi kvarcne prizme kada je promovirala lokalizaciju litografskih strojeva:
Tradicionalni nedostaci mljevenja: Hrapavost nakon ručnog poliranja još uvijek doseže Sa 120nm, što rezultira gubitkom od 15% raspršenja svjetlosti
Ovisnost opreme o uvozu: Cijena jedne japanske ultra-precizne brusilice premašuje 20 milijuna juana, a rok isporuke je čak 18 mjeseci
Kriza prinosa: Samo 32 od prve serije od 500 probnih proizvoda zadovoljilo je standarde, što je ozbiljno usporilo napredak projekta
Dilema "ne mogu si priuštiti uvoznu opremu, a domaći procesi nisu dobri" izravno je blokirala proces samostalnog razvoja stroja za litografiju.
BIŠENrješenja' rješenje
Kao odgovor na zahtjeve ekstremne preciznosti optičkih komponenti, BISHEN tehnički tim razvio je inovativno istraživanje i razvoj:
1. Ultrazvučni vertikalni pet{2}}sustav za obradu povezivanja
2. 0.1μm-razina dinamičke kompenzacije, precizna kontrola 18-osnih alatnih strojeva
3. CAD/CAM inteligentno programiranje usklađene asimetrične površine
4. Visoko{1}}tehnologija mljevenja potpomognuta ultrazvukom
5. 40KHz ultrazvučne vibracije smanjuju 52% naprezanja pri rezanju i izbjegavaju kvarcne mikropukotine
6. Vijek trajanja brusne ploče dijamantnog mikro-praška produljuje se 3 puta
Stvarni izmjereni skok performansi
Tri su velika otkrića postignuta u masovnoj proizvodnji određene vrste prizme domaćeg litografskog stroja:
1. Kvaliteta površine: Hrapavost Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Učinkovitost obrade: jedno-radno vrijeme sažima se s 14 sati na 3,5 sata
3.Kontrola troškova: Ulaganje u opremu iznosi samo 1/5 uvezenog rješenja
Stopa prinosa prve serije od 3000 proizvoda skočila je na 98,7%, pomažući kupcima da završe sastavljanje prototipova 6 mjeseci prije roka
okoBIŠEN
BIŠENPrecision Technology (osnovana 2017.) usmjerena je na probijanje tehnologije "uskog grla" u području vrhunske-proizvodnje. Izgradio je digitalnu tvornicu od 7500 četvornih metara u Dongguanu, opremljenu klasterima uvezene opreme kao što su obradni centri s pet-osnim vezama i ultra-precizne optičke brusilice. Primjenom inovativnih tehnologija kao što su ultrazvučna strojna obrada i kriogeno rezanje na poluvodičku opremu, optoelektroničke instrumente i druga područja, osigurao je ključna rješenja za obradu dijelova za više od 20 domaćih tvrtki lanaca industrije strojeva za litografiju i isporučio više od 500.000 preciznih optičkih komponenti.
