U industriji poluvodiča,mikronska-preciznostnije luksuz-to je osnova. Komponente koje se koriste usustavi za rukovanje pločicama, komore za jetkanje, ialati za fotolitografijuzahtijevatidimenzijske toleranciječesto ispod 5 mikrona. Tradicionalne metode CNC obrade teško mogu zadovoljiti takve zahtjeve bez specijalizirane kontrole procesa i mjeriteljstva.
Izazov: Kad su mikroni važni
Za razliku od konvencionalnih industrijskih dijelova, poluvodičke komponente moraju:
Održavatiekstremna ravnost i paralelizam
Imatiprecizno poravnanje rupa i korak
Osiguratiminimalne površinske greškekoji bi mogli utjecati na vakuum ili optičku izvedbu
Čak i najmanje odstupanje može dovesti do:
Neusklađenost tijekom prijenosa pločice
Gubitak točnosti u projekciji fotomaske
Gubitak prinosa zbog onečišćenja ili geometrijskog pomaka
Primjer-stvarnog svijeta: okviri alata za litografiju
U jednom projektu koji uključuje alagani okvir od aluminijske legureza fotolitografski sustav,tolerancija ispod 5 μmbilo potrebno na montažnim površinama kako bi se osiguralosavršeno poravnanje preklapanjauzoraka čipova.
Da bismo to postigli, primijenili smo:
5-osna CNC obrada s toplinskom kompenzacijom
Niske-vibracije,-kontrola vretena velike brzine
Dimenzionalno-probiranje u stvarnom vremenu i petlje povratnih informacija
Bez takve preciznosti, pomak od samo 10 μm mogao bi iskriviti poravnanje maske i smanjiti prinos čipa-što bi klijenta koštalo značajnih zastoja i gubitka materijala.
Naš proces uBISHEN Preciznost
Opslužujemo proizvođače originalne opreme poluvodiča sa:
Ultra{0}}precizno CNC glodanje i tokarenje (±2~5μm ponovljivost)
Ra Manje od ili jednako 0,2 μm površinske obradeza kritično brtvljenje ili optičke zone
Pakiranje kompatibilno-Cleanroom
CMM i lasersko skeniranje s izvješćima koja se mogu pratiti
Naš tim razumijekritičnost svakog mikrona-i podupire ga iskustvom u pružanju usluga istraživanja i razvoja i visoko-mješovitih niskih-produkcijskih okruženja.
Zašto je važno
U proizvodnji poluvodiča, geometrija je sve. Svako izobličenje, neusklađenost ili neravnine mogu rezultirati:
Iskrivljenje uzorka
Pogreške u rukovanju napolitankama
Kvar vakuumskog sustava
Precizna strojna obrada nije samo u malim tolerancijama-već o osiguravanjufunkcionalnost i pouzdanostsljedeće{0}}generacije opreme za proizvodnju čipova.
