U svijetu proizvodnje poluvodičke opreme,kvaliteta površine nije samo estetika-već funkcija, dugovječnost i preciznost. Komponente kao što su stezne glave, nosači objektiva i precizne vodilice moraju zadovoljiti ne samo tolerancije dimenzija, već iekstremni zahtjevi za završnu obradu površine, često ispodRa 0,1 μm.
Zašto je nanometarska-završna obrada površine važna
Poluvodička oprema visokih- performansi uvelike se oslanja na točnost kontakta i kompatibilnost s čistim sobama. Hrapavost površine koja premašuje nanometarske pragove može:
ometatitočnost postavljanja vafera
Povećatitrenje i trošenjetijekom kretanja
Uzrokraspršenost optičkog signala, što utječe na fotolitografiju
Stvoritizamke čestica, povećavajući rizik od kontaminacije
Na primjer, apotporni prsten za wafer stages hrapavošću površine iznad specifikacije može uzrokovati mikro-vibracije, smanjujući točnost pozicioniranja i smanjujući prinos.
Izazov CNC obrade
Postizanje završne obrade površine Ra Manje od ili jednako 0,1 μm daleko nadilazi standardne CNC procese. Tradicionalni alati i parametri često za sobom ostavljaju mikro-ogrebotine, tragove strojne obrade ili zaostalo naprezanje-što je sve neprihvatljivo u poluvodičkim okruženjima.
Naš pristup kvaliteti na-nanometarskoj razini
NaBISHEN Preciznost, razvili smo radne tijekove strojne obrade posebno za-površinski osjetljive aplikacije:
Upotrebaultra-alati od karbida finog zrnas prilagođenim geometrijama
Prolazi za poliranjeintegrirani u konačne putanje alata
Sustavi kontrole rashladne tekućinekako biste izbjegli mikro-suze izazvane toplinom
Koordinacija saCMM i interferometri-bijelog svjetlapotvrditi grubost
Svaki dio prolazi više{0}}faznu kontrolu ne samo za tolerancije dimenzija, već i zasub-mikronska površinska konzistencijapreko svih kontaktnih ravnina.
Pravo kućište: zrcalno{0}}završene potporne ploče od pločica
Klijent je zahtijevao aluminijske oblatne ploče s površinskom obradom boljom odRa 0,05 μm, ravnomjeran preko cijelog uređaja. Korištenjem optimiziranih tehnika-brze završne obrade i prilagođenih strategija poliranja, isporučili smo komponente koje premašuju specifikacije-spremne za EUV-sastavljanje u čistim sobama.
Ne dopustite da površinska obrada potkopa vaš sustav
Površinska nesavršenost na nanoskali može tiho ugroziti vaše najpreciznije mehanizme. Ako vaša aplikacija zahtijevazavršni-optički stupanj, ilisuperiorne performanse trenja, razgovaraj s nama. Pomoći ćemo osigurati da vaši dijelovi zadovoljavaju obojetolerancijaitekstura.
