Studija slučaja: Proboj u obradi supstrata od kvarcnog stakla
Predmet obrade: supstrat od kvarcnog stakla za fotolitografiju
Tehnički podaci:
Materijal: kvarcno staklo visoke-čistoće 99,99%.
Značajke obrade: dvostrano C0.2 skošenje + okomiti bočni zid
Površinski zahtjevi: Ra < 150 nm (razred ogledala)
Dimenzije: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Analiza bolnih točaka industrijske obrade
Kao osnovni potrošni materijal opreme za proizvodnju poluvodiča, kvarcni dijelovi za fotolitografiju moraju ispunjavati tri stroga standarda u isto vrijeme: propusnost materijala > 99,6%, tolerancija dimenzija ±10 μm i hrapavost bočne stijenke Ra < 150 nm. Tradicionalna metoda obrade koristi proces brušenja brusnog kotača, koji ima dva glavna problema u industriji:
Usko grlo učinkovitosti: obrada jednog-dijela traje do 120 minuta
Površinski nedostaci: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Gubitak alata: obični vijek trajanja alata manji je od 50 komada
BIŠENrješenja tehnološka inovacija
S obzirom na tvrdoću i krhkost kvarcnih materijala, kompozitotopina za obraduusvaja se:
• 20kHz ultrazvučni precizni sustav za graviranje i glodanje
• Integrirano glodalo s mikro-oštricom PCD (rub R0,05 mm)
• Aksijalni slojeviti proces rezanja (2μm po sloju)
Usporedba izmjerenih prednosti obrade
Kroz provjeru procesa i usporedbu, ključni pokazatelji su značajno poboljšani:
Vrijednost primjene u industriji
Ovo rješenje uspješno je riješilo problem "uskog grla" obrade u procesu lokalizacije dijelova stroja za litografiju, povećavajući proizvodni kapacitet kvarcne podloge s 10 komada dnevno na 50 komada, a stopu kvalifikacije obrade sa 63% na 98,5%. Prema detekciji Zeiss laserskog interferometra, vrijednost PV točnosti površine za obradu je<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
OkoBIŠEN
Bishen Precisionspecijalizirana je za preciznu obradu hardverskih dijelova, sa 7500 četvornih metara standardiziranih radionica, a njezine usluge pokrivaju zrakoplovstvo, medicinsku opremu, industrijske robote i druga područja. Uz mogućnost obrade složenih strukturnih dijelova i certifikat ISO sustava, klijentima pruža cjelovita-procesna rješenja od dizajna i razvoja do masovne proizvodnje.
