Pozadina slučaja: "Problem-tisuću rupa" u proizvodnji čipova

U području obrade poluvodičkih čipova, kvarcno staklo naširoko se koristi u proizvodnji raspršivača u procesu jetkanja zbog svoje visoke čistoće, otpornosti na visoke temperature i kemijske stabilnosti. Zahtjevi za obradu vodećeg proizvođača opreme za čipove za kvarcne raspršivače su vrlo reprezentativni:
Materijal: Kvarcno staklo (tvrdoća HV700)
Osnovne značajke: promjer 0,5 mm, mikro-rupe duboke 5 mm (omjer dubine-na-promjera 10:1), 4996 rupa treba ravnomjerno obraditi na disku promjera 280 mm
Zahtjevi za preciznošću: Okruglost rupe Manja ili jednaka ±5μm, pogreška položaja<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Proizvođač je izvorno koristio tradicionalnu tehnologiju bušenja, ali se suočio s dva fatalna problema:
Usko grlo učinkovitosti: Obrada jedne rupe traje 270 sekundi, a obrada jednog diska zahtijeva kontinuirani rad 34 dana;
Prinos izvan kontrole: Savijanje ruba rupe doseže 0,4 mm, što rezultira pucanjem i otpadom više od 30% izradaka zbog koncentracije naprezanja.
BISHEN rješenja: Ultrazvučna tehnologija potkopava tradicionalne zanate
S obzirom na krhke i čvrste karakteristike kvarcnog stakla, BISHEN R&D tim predložio je sustav ultrazvučnog preciznog graviranja i glodanja, koji je donio tri tehničke inovacije:
① Visoko{0}}tehnologija smanjenja ultrazvučnih vibracija
Ultrazvučna vibracija od 20kHz skraćuje vrijeme kontakta između svrdla i materijala na mikrosekunde, smanjuje silu rezanja za 65% i suzbija urušavanje ruba od korijena.
② Integrirana prilagodba PCD bušilice
Svrdlo je izrađeno od dijamantnog kompozitnog lima (PCD) u jednom komadu, s preciznošću luka oštrice od ±2 μm i sustavom aksijalne korekcije od 0,01 stupnja kako bi se osigurala ravnost rupa dubokih 5 mm.
③ Alati za pozicioniranje vakuumske adsorpcije
Zračna plutajuća platforma s neovisnom kontrolom više područja stabilizira pogrešku ravnosti kvarcnog diska od 280 mm unutar 0,005 mm, eliminirajući odstupanje položaja bušenja.
Usporedba podataka obrade: dvostruki skok u učinkovitosti i točnosti

Rješenje su provjerili kupci u masovnoj proizvodnji tri uzastopna mjeseca, a iskorištenje ploče za raspršivanje poraslo je sa 67% na 98%, čime su proizvođači uštedjeli više od 8 milijuna juana u troškovima gubitka kvarcnog materijala svake godine.

Inspiracija industrije: tehnička prekretnica precizne strojne obrade
Obrada mikro{0}}rupa od kvarcnog stakla nekoć je bila "usko grlo" koja je ograničavala nadogradnju opreme za čipove. Inženjerskom primjenom ultrazvučne tehnologije, BISHEN ne samo da je riješio problem obrade mikro-rupa s omjerom dubine-prema-promjeru od 10:1, već je također potvrdio novu paradigmu za preciznu obradu krhkih i tvrdih materijala - Zamjena jednostavnog povećanja tvrdoće alata visoko-frekventnim vibracijama kontrola, koja ima univerzalnu vrijednost za ultra-preciznu obradu u industrijama kao što su keramika i optičko staklo.
O Bishen Precision
BishenPrecision se fokusira na visoko{0}}preciznu proizvodnju metalnih dijelova. Oslanjajući se na modernu proizvodnu bazu od 7500 četvornih metara, pruža-rješenja na jednom mjestu za složene strukturne dijelove u području zrakoplovstva, medicinskih strojeva i robotike. Tvrtka uzima "ekstremnu preciznost i pouzdanu isporuku" kao svoju osnovnu konkurentnost i ima mogućnost pružanja cjelovitih-procesnih usluga od modifikacije materijala, obrade više-osnog povezivanja do mikro-ispitivanja razine. Posjeduje ISO 13485 sustav upravljanja kvalitetom medicinskih uređaja, AS9100 zrakoplovno-svemirski certifikat i druge kvalifikacije te je ukupno isporučio više od 200.000 ključnih dijelova, pomažući kupcima da probiju granice precizne proizvodnje.







